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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教大家去除残胶（PMMA）的方法
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lfk03006

木虫 (职业作家)

[交流] 请教大家去除残胶（PMMA）的方法

本人用CVD法在铜基上生长石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上，再用丙酮+异丙醇去除PMMA，但是发现PMMA根本无法完全去除干净（在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶）以至于影响到后续的工艺，在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶（退火是其中一个方法），欢迎大家不吝指点。
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1楼 2016-05-07 15:27:16
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juvenok

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
17楼: Originally posted by lfk03006 at 2016-05-06 21:33:23
我的实验结果是：退火有改善，但是改善的空间不大...

CVD石墨烯表面有好多官能团和悬挂键的，高温下能和PMMA化合，容易越来越脏。所以一般只有机械剥离的石墨烯才退火。
另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短时间改善迁移率

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21楼2016-05-07 21:08:24
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微晶石墨烯

禁虫 (初入文坛)
★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
11楼2016-05-07 16:41:10
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chlq314101a5楼
2016-05-07 15:56   回复  
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
yuzhuce10楼
2016-05-07 16:35   回复  
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
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