应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教大家去除残胶（PMMA）的方法
51/1返回列表
查看: 6102  |  回复: 28
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lfk03006

木虫 (职业作家)

[交流] 请教大家去除残胶（PMMA）的方法

本人用CVD法在铜基上生长石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蚀的方法把石墨烯转移到硅片上，再用丙酮+异丙醇去除PMMA，但是发现PMMA根本无法完全去除干净（在光学显微镜或者原子力显微镜下可以清楚的看到很多的残胶）以至于影响到后续的工艺，在此请教大家有没有什么简单可行的方法去除残胶（退火是其中一个方法），欢迎大家不吝指点。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼2016-05-07 15:27:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

juvenok

至尊木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
17楼: Originally posted by lfk03006 at 2016-05-06 21:33:23
我的实验结果是：退火有改善，但是改善的空间不大...

CVD石墨烯表面有好多官能团和悬挂键的，高温下能和PMMA化合，容易越来越脏。所以一般只有机械剥离的石墨烯才退火。
另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短时间改善迁移率

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
21楼2016-05-07 21:08:24
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 29 个回答

微晶石墨烯

禁虫 (初入文坛)
★
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
11楼2016-05-07 16:41:10
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
chlq314101a5楼
2016-05-07 15:56   回复  
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
yuzhuce10楼
2016-05-07 16:35   回复  
lfk03006(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
查看全部 29 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭