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溶液法旋涂薄膜。。。 已有1人参与
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| 为什么ZrAlO溶液能轻松的旋涂在轻掺n型Si，而不易旋涂在重掺P型Si上呢？如何才能在重掺p型Si上旋涂得到质量较好的，厚度在100nm的薄膜呢？ |
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5楼2016-05-05 16:15:16