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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 溶液法旋涂薄膜。。。
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)

[求助] 溶液法旋涂薄膜。。。 已有1人参与

为什么ZrAlO溶液能轻松的旋涂在轻掺n型Si，而不易旋涂在重掺P型Si上呢？如何才能在重掺p型Si上旋涂得到质量较好的，厚度在100nm的薄膜呢？
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如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！
1楼 2016-04-27 10:15:08
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)
怎么没有人回复呢？求大神指教。。。
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如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！
2楼2016-04-28 09:07:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

应该和衬底是无关的。掺杂类型和浓度对旋涂的影响是不存在的。
像这种情况，是衬底上出了什么问题。你的片子都是从哪里买的？片子在旋涂之前有进行什么处理吗？
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3楼2016-05-04 14:02:44
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)
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如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！
4楼2016-05-04 17:15:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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5楼2016-05-05 16:15:16
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