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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控镀膜 靶材表面出现火花
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meihaijuan

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控镀膜 靶材表面出现火花

请教各位大神：
       在磁控镀膜TiN的时候，设置参数有，真空度5*10-3 pa，工作气压0.8 pa，温度100℃，偏压100V，功率300W。
       1、轰击前，氩气流量20 sccm，真空计显示0.14 pa，偏压800V，打开磁控电源，功率300W，将高阀关小，使气压
升高到1.0 pa以上才可以正常起辉镀膜，此时真空计显示读数为起辉前的两倍，即2 pa以上。所以一旦起辉后，迅速将高阀
开到最大，使压强降低到最小，但只能降到0.8 pa。
       2、轰击结束后，偏压降到100V，氩气流量20 sccm，氮气流量2 sccm，真空计显示0.15 pa，此时将高阀关小，工作气压
必须调到2 pa以上才能正常起辉镀膜，此时真空计显示读数为起辉前的两倍，即4 pa以上。而起辉后，避免靶中毒，迅速将高阀
开到最大，使压强降低到最小，但只能降到0.8 pa。
       3、在起辉后进行正常镀膜的过程中，发现真空计读数从0.8 pa到0.9 pa之间略微变化，靶材表面不断地有小颗粒的火星溢出来，
每个10分钟左右，磁控电源就断开了，这时又开始升高气压到2 pa以上才能起辉，然后迅速将气压调至最低0.8 pa，就这样来来回回
调整气压参数来镀膜。
       4、备注：镀膜前靶材表面已用砂纸擦亮，氩气和氮气流量比，已经多次试验优化出来的镀膜参数。
       请问这个不稳定的镀膜现象是什么原因导致的，又改如何解决，请各位高手多多指点，谢谢！
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1楼 2016-04-08 22:34:59
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Eric钟

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
濺射电源是用RF還是DC?
如果是DC, 靶表面氮化物多了就容易有火花.
若是使用RF, 可能是暗區(dark space)太大或太小. 或是阳極的沉积物多了. 要清一清.
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meihaijuan
2楼2016-04-10 23:35:22
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meihaijuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by baiyulong_ at 2016-04-11 20:09:28
我们也用磁控溅设，做F e靶才的侍候，一开电源就自动stop,也没有短路。怎么解决，

我们用的是AE电源，一开始没有设定好电源参数，电源由于自我保护而无法运行，同时也有粑中毒，导致灭弧，使电源运行不稳定。

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7楼2016-04-14 20:40:24
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baiyulong_

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by meihaijuan at 2016-04-14 20:40:24
我们用的是AE电源，一开始没有设定好电源参数，电源由于自我保护而无法运行，同时也有粑中毒，导致灭弧，使电源运行不稳定。
...

我们试了其他的靶才钴，就正常。只有铁靶才不能开电源，我们用的都是直流电源AE500

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8楼2016-04-15 07:13:06
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普通回帖

meihaijuan

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Eric钟 at 2016-04-10 23:35:22
濺射电源是用RF還是DC?
如果是DC, 靶表面氮化物多了就容易有火花.
若是使用RF, 可能是暗區(dark space)太大或太小. 或是阳極的沉积物多了. 要清一清.

谢谢，已解决

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3楼2016-04-10 23:37:35
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Eric钟

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by meihaijuan at 2016-04-10 23:37:35
谢谢，已解决
...

恭喜已解決问题.
具体造成火花的原因?
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4楼2016-04-11 19:39:39
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baiyulong_

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们也用磁控溅设，做F e靶才的侍候，一开电源就自动stop,也没有短路。怎么解决，

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5楼2016-04-11 20:09:28
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meihaijuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Eric钟 at 2016-04-11 19:39:39
恭喜已解決问题.
具体造成火花的原因?...

工作气压太高不稳定，引起粑中毒，粑表面较脏

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6楼2016-04-14 20:37:17
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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3楼: Originally posted by meihaijuan at 2016-04-10 23:37:35
谢谢，已解决
...

亲 你是怎么解决的？我用直流溅射氧化钇也出现了放电现象，现在还是有问题，我现在都已经走投无路了
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9楼2016-04-18 10:56:46
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meihaijuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 学渣求上进 at 2016-04-18 10:56:46
亲 你是怎么解决的？我用直流溅射氧化钇也出现了放电现象，现在还是有问题，我现在都已经走投无路了...

可能每个炉子出现问题的原因不一样，我们这边是粑中毒，表面太脏的原因，建议可以逐个检查排除解决问题。

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10楼2016-04-18 13:38:15
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