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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控镀膜 靶材表面出现火花
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学渣求上进

新虫 (初入文坛)
лл
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11楼2016-04-18 19:45:31
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by 学渣求上进 at 2016-04-18 10:56:46
亲 你是怎么解决的？我用直流溅射氧化钇也出现了放电现象，现在还是有问题，我现在都已经走投无路了...

出现放电现象应该就是靶材局部脏化导致正电荷聚集，最后电压过高击穿引起火花放电，清理一下靶材或者基材

发自小木虫Android客户端
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12楼2016-07-16 16:57:10
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