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天国之王

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射直流溅射Ni靶 已有2人参与

磁控溅射直流溅射Ni靶,拿出来后,很容易氧化,大家有什么好的建议吗?
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该放在磁性靶,一直放在设备中保持真空不就行了。我们锁好的一个多月也没有氧化啊
2楼2016-03-31 08:34:02
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cairnstw

新虫 (初入文坛)

如果说需要一直拿出来,可以放进腔体前抛光去氧化层,再镀膜前,先预溅射就可以了。

发自小木虫Android客户端
3楼2016-03-31 14:03:04
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天国之王

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by perry_ping at 2016-03-31 08:34:02
应该放在磁性靶,一直放在设备中保持真空不就行了。我们锁好的一个多月也没有氧化啊

因为一台设备,经常其他同学要做其它靶,所以得拿出来!
4楼2016-04-15 11:48:19
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天国之王

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by cairnstw at 2016-03-31 14:03:04
如果说需要一直拿出来,可以放进腔体前抛光去氧化层,再镀膜前,先预溅射就可以了。

恩,我一般预溅射10min,不知道时间够不够去掉那层氧化层呢?
5楼2016-04-15 11:50:24
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
天国之王: 金币+3, 有帮助 2016-04-25 21:56:22
天国之王: 金币+3 2016-05-04 19:04:50
1.买一个真空干燥皿,放在里面保存,每次抽真空。
2.个人认为,如果不影响镀膜机的使用,可以考虑把靶材卸下来后用铝箔包裹,然后就放在镀膜机真空室中远离镀膜的角落,靠近冷却水的地方,除非真空室中经常使用高活性的气体。一般来说真空室中气压很低。
6楼2016-04-15 20:40:39
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