| 查看: 1287 | 回复: 5 | ||||
[求助]
硅片基底增加表面粗糙度 已有2人参与
|
|
最近在研究表面粗糙度和接触热阻的关系，需要使抛光后的硅片基底变得粗糙来获得不同情况下的热组值。 试过用湿法刻蚀硅片表面（制绒工艺），效果不是很好，感觉获得的表面粗糙度太大了，而且硅片边缘和中心刻蚀的程度也不一样。 跟老板讨论了一下，他建议我在抛光硅片的表面沉积颗粒来改变表面粗糙度，但我觉得比较麻烦。想试试干法刻蚀中的RIE和ICP，不知道是否比湿法更可控。 本人对微纳加工不是很懂，各位虫友是否知道其它经典简便的方法，希望不惜赐教，谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有149人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
2楼2016-03-26 14:22:15
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2016-03-26 16:06:52
4楼2016-04-11 19:50:11
5楼2016-04-15 00:37:35
djdj123321
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 593.8
- 帖子: 21
- 在线: 60.9小时
- 虫号: 2702889
- 注册: 2013-10-07
- 性别: GG
- 专业: 传热传质学
6楼2017-02-23 18:36:25
