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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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seekingalex

新虫 (初入文坛)


[求助] 请教,RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用?谢谢! 已有4人参与

请教一下,RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用?变化有什么影响?
所用设备的标准工艺为:SF6/CHF3/He=5.5/32/150,RF=200W,Pressure=1850mTorr。
不吝赐教!~
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氦气太轻了,一般物理刻蚀用氩
刻蚀速率用rf功率控制
感觉加氦气就是维持合适的腔压

发自小木虫Android客户端
5楼2016-03-26 17:05:39
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u200810983

禁虫 (小有名气)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

2楼2016-03-25 09:00:12
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王小贰

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是做物理轰击的作用吧
3楼2016-03-25 10:32:00
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是作为刻蚀气体的载气
4楼2016-03-25 15:55:44
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