| 查看: 1675 | 回复: 4 | ||
seekingalex
|
[求助]
请教，RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用？谢谢！ 已有4人参与
|
|
请教一下，RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用？变化有什么影响？ 所用设备的标准工艺为：SF6/CHF3/He=5.5/32/150，RF=200W，Pressure=1850mTorr。 不吝赐教！~ |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有226人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
u200810983
禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2016-03-25 09:00:12
3楼2016-03-25 10:32:00
4楼2016-03-25 15:55:44
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
5楼2016-03-26 17:05:39
