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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教，RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用？谢谢！
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seekingalex

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教，RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用？谢谢！ 已有4人参与

请教一下，RIE刻蚀二氧化硅的刻蚀气体中He起什么作用？变化有什么影响？
所用设备的标准工艺为：SF6/CHF3/He=5.5/32/150，RF=200W，Pressure=1850mTorr。
不吝赐教！~
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1楼 2016-03-24 17:27:03
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王小贰

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该是做物理轰击的作用吧
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3楼2016-03-25 10:32:00
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查看全部 5 个回答

u200810983

禁虫 (小有名气)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2016-03-25 09:00:12
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
应该是作为刻蚀气体的载气
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4楼2016-03-25 15:55:44
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
氦气太轻了，一般物理刻蚀用氩
刻蚀速率用rf功率控制
感觉加氦气就是维持合适的腔压

发自小木虫Android客户端
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5楼2016-03-26 17:05:39
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查看全部 5 个回答
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