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[求助]
求测残余应力的方法、ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪
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想测试PECVD沉积的氮化硅薄膜的应力，通过曲率半径的方法。但是没有找到很准确的测曲率半径的方法，求教！ 现在我们实验室有 台阶仪（精度太低，pass），ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪，查询到这两个仪器都可以测薄膜的曲率半径，但不知道如何测试？ 求大神赐教！！ |
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2楼2016-03-29 13:01:18