| 查看: 1295 | 回复: 1 | ||
[求助]
求测残余应力的方法、ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪
|
|
想测试PECVD沉积的氮化硅薄膜的应力，通过曲率半径的方法。但是没有找到很准确的测曲率半径的方法，求教！ 现在我们实验室有 台阶仪（精度太低，pass），ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪，查询到这两个仪器都可以测薄膜的曲率半径，但不知道如何测试？ 求大神赐教！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
可降解聚酯材料在医疗器械中的应用趋势与创新方向
已经有0人回复
-
可降解微球如何提升药物精准治疗效果
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有106人回复
-
关于30°不全位错的柏氏回路的绘制
已经有0人回复
-
同一篇文章，用不同账号投稿对编辑决定是否送审有没有影响？
已经有3人回复
-
静电纺丝膜分层问题
已经有0人回复
-
郑州大学田佳佳团队诚招2026年入学博士研究生
已经有0人回复
-
什么脱膜剂可以完全清洗干净啊？
已经有2人回复
-
材料科学基础
已经有0人回复
-
北京科技大学/李亚庚教授招收2026年秋季入学博士生
已经有11人回复
-
省级国家级人才计划申报
已经有0人回复
2楼2016-03-29 13:01:18