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博士_14

新虫 (初入文坛)

[求助] 求测残余应力的方法、ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪

想测试PECVD沉积的氮化硅薄膜的应力，通过曲率半径的方法。但是没有找到很准确的测曲率半径的方法，求教！
现在我们实验室有  台阶仪（精度太低，pass），ZYGO的三维轮廓仪，美国Corning Tropel 平面度测量仪，查询到这两个仪器都可以测薄膜的曲率半径，但不知道如何测试？
求大神赐教！！
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1楼 2016-03-22 22:07:46
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博士_14

新虫 (初入文坛)
怎么没人回复呢
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2楼2016-03-29 13:01:18
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