应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 求磁控溅射问题，急急急啊！
51/1返回列表
查看: 1451  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

nanate

金虫 (小有名气)

[求助] 求磁控溅射问题，急急急啊！ 已有1人参与

各位大侠：
   本人遇见一个问题，设备是欧瑞康的磁控溅射设备，RF电源，4个4寸圆形靶。最近在溅射的过程中发现 屏蔽罩上有辉光，而且设备的四个靶位均出现了这个问题，这个问题比较麻烦，可能会对薄膜污染。请教如何解决这问题。
我们进行了排查：
1. 我们量了屏蔽罩是接地的，阴极与屏蔽罩的电阻在1兆欧左右；
2. RF电源、匹配器与线路已经排除，尝试了两电源，没有 效果。
3. 挡板关闭的时候，屏蔽罩上没有出现辉光，开挡板就有辉光。

求磁控溅射问题，急急急啊！
image1.JPG
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2016-03-19 14:51:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lidaji

新虫 (初入文坛)
有能溅射铜的地方吗？求助啊4301433QQ

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-31 21:07:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
还是觉得屏蔽罩接地不好，建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧，好像有点小，建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时，与屏蔽罩之间的通断。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-03-21 07:38:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nanate

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-21 07:38:00
还是觉得屏蔽罩接地不好，建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧，好像有点小，建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时，与屏蔽罩之间的通断。
...

谢谢了！
回复此楼
3楼2016-03-23 12:16:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
楼主，请问这种情况怎么解决的
赞一下 回复此楼
5楼2017-10-10 11:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！ +3 lemonzzn 2026-03-17 3/150 2026-03-19 23:58 by 23Postgrad
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 6/300 2026-03-19 17:18 by fei626-918
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂 +5 吃吃吃才有意义 2026-03-19 5/250 2026-03-19 16:18 by 30660438
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 10/500 2026-03-19 16:05 by 余麟余
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +4 生物工程调剂 2026-03-16 12/600 2026-03-19 11:10 by 生物工程调剂
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +7 小材化本科 2026-03-18 7/350 2026-03-19 10:46 by Linda Hu
[考研] 332求调剂 +3 ydfyh 2026-03-17 3/150 2026-03-19 10:14 by 功夫疯狂
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 6/300 2026-03-18 22:55 by 204818@lcx
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂（0854都可以） +3 xbxudjdn 2026-03-18 3/150 2026-03-18 22:14 by zhq0425
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 085601专硕，总分342求调剂，地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 一志愿西南交大，求调剂 +4 材化逐梦人 2026-03-18 4/200 2026-03-18 14:22 by 007_lilei
[考研] 材料专硕306英一数二 +10 z1z2z3879 2026-03-16 13/650 2026-03-18 14:20 by 007_lilei
[考研] 301求调剂 +9 yy要上岸呀 2026-03-17 9/450 2026-03-18 08:58 by 无际的草原
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[考研] 332求调剂 +6 Zz版 2026-03-13 6/300 2026-03-17 17:03 by ruiyingmiao
[考研] 275求调剂 +4 太阳花天天开心 2026-03-16 4/200 2026-03-17 10:53 by 功夫疯狂
[考研] 求老师收留调剂 +4 jiang姜66 2026-03-14 5/250 2026-03-15 20:11 by Winj1e
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭