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[求助]
求磁控溅射问题，急急急啊！ 已有1人参与
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各位大侠： 本人遇见一个问题，设备是欧瑞康的磁控溅射设备，RF电源，4个4寸圆形靶。最近在溅射的过程中发现 屏蔽罩上有辉光，而且设备的四个靶位均出现了这个问题，这个问题比较麻烦，可能会对薄膜污染。请教如何解决这问题。 我们进行了排查： 1. 我们量了屏蔽罩是接地的，阴极与屏蔽罩的电阻在1兆欧左右； 2. RF电源、匹配器与线路已经排除，尝试了两电源，没有 效果。 3. 挡板关闭的时候，屏蔽罩上没有出现辉光，开挡板就有辉光。  image1.JPG |
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 薄膜制备与特性 |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
感谢参与，应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
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还是觉得屏蔽罩接地不好，建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧，好像有点小，建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时，与屏蔽罩之间的通断。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-03-21 07:38:00
3楼2016-03-23 12:16:21
4楼2016-03-31 21:07:44
5楼2017-10-10 11:56:15