| 查看: 1447 | 回复: 4 | ||||
nanate金虫 (小有名气)
|
[求助]
求磁控溅射问题，急急急啊！ 已有1人参与
|
|
各位大侠： 本人遇见一个问题，设备是欧瑞康的磁控溅射设备，RF电源，4个4寸圆形靶。最近在溅射的过程中发现 屏蔽罩上有辉光，而且设备的四个靶位均出现了这个问题，这个问题比较麻烦，可能会对薄膜污染。请教如何解决这问题。 我们进行了排查： 1. 我们量了屏蔽罩是接地的，阴极与屏蔽罩的电阻在1兆欧左右； 2. RF电源、匹配器与线路已经排除，尝试了两电源，没有 效果。 3. 挡板关闭的时候，屏蔽罩上没有出现辉光，开挡板就有辉光。  image1.JPG |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
265求调剂
已经有4人回复
-
085700资源与环境308求调剂
已经有6人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有12人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有3人回复
-
329求调剂
已经有5人回复
-
申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复
已经有4人回复
-
材料学硕318求调剂
已经有5人回复
-
一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂
已经有6人回复
-
081700化工学硕调剂
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求解决分子泵问题！
已经有4人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
感谢参与，应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
|
还是觉得屏蔽罩接地不好，建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧，好像有点小，建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时，与屏蔽罩之间的通断。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-03-21 07:38:00
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
3楼2016-03-23 12:16:21
4楼2016-03-31 21:07:44
5楼2017-10-10 11:56:15
50