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nanate

金虫 (小有名气)

[求助] 求磁控溅射问题,急急急啊! 已有1人参与

各位大侠:
   本人遇见一个问题,设备是欧瑞康的磁控溅射设备,RF电源,4个4寸圆形靶。最近在溅射的过程中发现 屏蔽罩上有辉光,而且设备的四个靶位均出现了这个问题,这个问题比较麻烦,可能会对薄膜污染。请教如何解决这问题。
我们进行了排查:
1. 我们量了屏蔽罩是接地的,阴极与屏蔽罩的电阻在1兆欧左右;
2. RF电源、匹配器与线路已经排除,尝试了两电源,没有 效果。
3. 挡板关闭的时候,屏蔽罩上没有出现辉光,开挡板就有辉光。

求磁控溅射问题,急急急啊!
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
nanate: 金币+5 2016-03-23 12:16:30
还是觉得屏蔽罩接地不好,建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧,好像有点小,建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时,与屏蔽罩之间的通断。

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-21 07:38:00
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nanate

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-21 07:38:00
还是觉得屏蔽罩接地不好,建议把屏蔽罩彻底清洗下试试。还有与阴极之间阻抗1兆欧,好像有点小,建议找说明书看看初始阻值是多少。另楼主测一下挡板打开和关闭时,与屏蔽罩之间的通断。
...

谢谢了!
3楼2016-03-23 12:16:21
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lidaji

新虫 (初入文坛)

有能溅射铜的地方吗?求助啊4301433QQ

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2016-03-31 21:07:44
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

楼主,请问这种情况怎么解决的
5楼2017-10-10 11:56:15
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