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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求问AZ5214光刻胶在MA6光刻机曝光做负胶的工艺参数
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dxozw

新虫 (小有名气)

[求助] 求问AZ5214光刻胶在MA6光刻机曝光做负胶的工艺参数 已有1人参与

要在MA6光刻机上做AZ5214，摸不出参数啊，有哪位同学知道AZ5214的做负胶的工艺参数吗？转速、前烘时间、曝光时间、后烘时间等等？？？在线等！急！
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1楼 2016-03-17 10:59:54
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dxozw

新虫 (小有名气)
2楼2016-03-23 09:57:20
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dezhuli

金虫 (小有名气)
★
月牙儿的微笑: 金币-1, 屏蔽内容, 违规存档, 本版不允许留下联系方式 2016-04-26 13:41:11
本帖内容被屏蔽
3楼2016-03-23 09:58:04
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willyion6688

木虫 (正式写手)
我也想知道。我之前用了一个参数不理想。有的话求分享

发自小木虫IOS客户端
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peoplewillalwaysfollowtheheartmuchmorereadilythantheywillfolloworders
4楼2016-03-23 10:48:59
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why36789

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以求助光刻胶厂商啊
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5楼2016-12-21 10:24:05
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