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求问AZ5214光刻胶在MA6光刻机曝光做负胶的工艺参数已有1人参与
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| 要在MA6光刻机上做AZ5214，摸不出参数啊，有哪位同学知道AZ5214的做负胶的工艺参数吗？转速、前烘时间、曝光时间、后烘时间等等？？？在线等！急！ |
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willyion6688
木虫 (正式写手)
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4楼2016-03-23 10:48:59