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dxozw

新虫 (小有名气)

[求助] 求问AZ5214光刻胶在MA6光刻机曝光做负胶的工艺参数已有1人参与

要在MA6光刻机上做AZ5214,摸不出参数啊,有哪位同学知道AZ5214的做负胶的工艺参数吗?转速、前烘时间、曝光时间、后烘时间等等???在线等!急!
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dezhuli

金虫 (小有名气)


月牙儿的微笑: 金币-1, 屏蔽内容, 违规存档, 本版不允许留下联系方式 2016-04-26 13:41:11
本帖内容被屏蔽

3楼2016-03-23 09:58:04
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