应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【求助】磁控溅射法镀Ti Au
51/1返回列表
查看: 1459  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】磁控溅射法镀Ti Au

做器件，需要在电极上镀Ti/Au 膜  厚度在100nm左右

实验室有磁控溅射设备  可是没有溅射Ti Au 的经验，也没有好的测量厚度的方法

那位高手可以介绍下经验，比如溅射条件 和 大致的厚度

谢谢

[ Last edited by 张甜 on 2008-10-17 at 11:10 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
B_or_not_2_B,_it's_a_?
1楼 2008-10-17 11:05:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

citylack

铁杆木虫 (著名写手)
首先感谢ufoer 的回复
不同设备之间确实有不同
不过如果实验参数设定一致，沉积速率应该相差不会很多吧
所以能否告诉我某特定条件下的生长速率呢

我现在并不要求准确知道膜厚，只需确定厚度在100nm左右即可
实验室的台阶仪坏了很久了 所以我现在无法进行膜厚测定
赞一下 回复此楼
B_or_not_2_B,_it's_a_?
3楼2008-10-17 14:40:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
★ ★
张甜(金币+2,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来~~
呵呵，楼主的问题提得太笼统，你要是亲自做过磁控溅射就应该知道，不同设备之间没有可比性。不过还是有一点经验可以借鉴的，就是溅射金属时，气压做好控制在2Pa以下，这样溅射的薄膜附着力比较好。具体的气压、功率、靶基距你还需要自己调节。厚度可以用台阶仪的方法去测定
赞一下(10人) 回复此楼
xxxxxxxxxxxxx
2楼2008-10-17 14:07:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
★ ★ ★
张甜(金币+1,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来~~
citylack(金币+2,VIP+0):非常感谢
基本上350V，100mA的功率下，沉积气压是1.0Pa时，在我们的设备商沉积的速率大概是每秒2个埃左右。其实这个速率和大多数金属的速率都差不多，你如果对膜厚要求不是很精确的话，可以先按这个条件估算。
另外，实在没台阶仪的话，看SEM的断面也可以知道厚度啊
赞一下(10人) 回复此楼
xxxxxxxxxxxxx
4楼2008-10-17 14:47:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ranon

金虫 (正式写手)
测溅射速度，一般是把基板表面的一部分盖住，镀膜后，去测表面粗糙或者断层厚度。根据时间计算出速度。
赞一下 回复此楼
5楼2008-10-17 17:08:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:59 by zNcEhTcH7ihq
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:50 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-15 18:11 by CgyNCDVNhGVg
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 17:59 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 17:23 by CgyNCDVNhGVg
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-15 14:58 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 7/350 2026-09-15 14:49 by VMDqgnlKimtZ
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-15 14:25 by VMDqgnlKimtZ
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 14:22 by VMDqgnlKimtZ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-15 14:14 by VMDqgnlKimtZ
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:58 by C79jjtjAKjEn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:58 by C79jjtjAKjEn
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:01 by 5BDX0d0WFp7t
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-14 23:24 by vZfe6xYu34yj
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 6/300 2026-09-14 22:37 by vZfe6xYu34yj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后 +3 马方园 2026-09-10 4/200 2026-09-14 09:29 by Chem张zz
[教师之家] 浙江师范大学是怎么坑我的 +10 recruit123 2026-09-09 15/750 2026-09-13 10:45 by seaskyy
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭