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【求助】磁控溅射法镀Ti Au
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做器件，需要在电极上镀Ti/Au 膜 厚度在100nm左右 实验室有磁控溅射设备 可是没有溅射Ti Au 的经验，也没有好的测量厚度的方法 那位高手可以介绍下经验，比如溅射条件 和 大致的厚度 谢谢 [ Last edited by 张甜 on 2008-10-17 at 11:10 ] |
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