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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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jipengfei

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪问题

各位前辈:,小弟刚刚接触磁控溅射仪,磁控溅射仪内部如何清洗,样品托盘如何清洗?
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uestcat

木虫 (小有名气)

内部一般拿acetone, IPA洗一下就好,substrate holder也可以这样,如果需要更干净用高速喷砂清洗

发自小木虫IOS客户端
Protonconductingceramicelectrolyteforlowtemperaturesolidoxidefuelcells
2楼2016-03-12 13:48:35
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