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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射仪问题
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jipengfei

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射仪问题

各位前辈：，小弟刚刚接触磁控溅射仪，磁控溅射仪内部如何清洗，样品托盘如何清洗？
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1楼 2016-03-12 10:40:30
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uestcat

木虫 (小有名气)
内部一般拿acetone， IPA洗一下就好，substrate holder也可以这样，如果需要更干净用高速喷砂清洗

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Protonconductingceramicelectrolyteforlowtemperaturesolidoxidefuelcells
2楼2016-03-12 13:48:35
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