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jipengfei

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 73.8
帖子: 6
在线: 6.2小时
虫号: 629983
注册: 2008-10-18
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 磁控溅射仪问题

各位前辈：

，小弟刚刚接触磁控溅射仪，磁控溅射仪内部如何清洗，样品托盘如何清洗？

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1楼2016-03-12 10:40:30

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uestcat

木虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 4001
散金: 330
红花: 1
帖子: 204
在线: 246.9小时
虫号: 642461
注册: 2008-10-31
性别: GG
专业: 无机非金属类电介质与电解

内部一般拿acetone， IPA洗一下就好，substrate holder也可以这样，如果需要更干净用高速喷砂清洗

发自小木虫IOS客户端

Protonconductingceramicelectrolyteforlowtemperaturesolidoxidefuelcells

2楼2016-03-12 13:48:35

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