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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助大神：N型SiC欧姆接触测试问题
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1154606018

新虫 (小有名气)
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10楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-23 23:35:03
你是做的单步工艺还是在做器件的时候留的欧姆接触了测试单元？
...

单步。那你知道怎么用四探针测吗?你后来用四探针测了吗？

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11楼2016-03-23 23:38:48
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-23 23:38:48
单步。那你知道怎么用四探针测吗?你后来用四探针测了吗？
...

没有用四探针测。你直接用的高掺外延片做的欧欧还是离子注入？

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12楼2016-03-23 23:40:26
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1154606018

新虫 (小有名气)
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12楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-23 23:40:26
没有用四探针测。你直接用的高掺外延片做的欧欧还是离子注入？
...

都有做

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13楼2016-03-23 23:42:51
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guotao019

新虫 (著名写手)
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13楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-23 23:42:51
都有做
...

你高掺的外延片浓度是多少，用的环形电极也拟合不出来？环形电极的内径和外径是多少？

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14楼2016-03-23 23:45:32
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1154606018

新虫 (小有名气)
1E19,内径比你们小，45um，圆环增长的数值不固定，7-20um之间

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15楼2016-03-23 23:49:30
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guotao019

新虫 (著名写手)
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15楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-23 23:49:30
1E19,内径比你们小，45um，圆环增长的数值不固定，7-20um之间

实在想不通，我的P型拟合的很好，N型都不行。难道是N型体电阻太小，金属还有探针引入的电阻不能忽略？不知道增加环的间距有没有用。。。

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16楼2016-03-23 23:53:28
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1154606018

新虫 (小有名气)
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16楼: Originally posted by guotao019 at 2016-03-23 23:53:28
实在想不通，我的P型拟合的很好，N型都不行。难道是N型体电阻太小，金属还有探针引入的电阻不能忽略？不知道增加环的间距有没有用。。。
...

我觉得可以试试四探针法测试，你们西电做sic欧姆接触很厉害的，你可以请教一下他们呢，解决了告诉我一下了，谢谢

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17楼2016-03-23 23:56:56
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guotao019

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17楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-23 23:56:56
我觉得可以试试四探针法测试，你们西电做sic欧姆接触很厉害的，你可以请教一下他们呢，解决了告诉我一下了，谢谢
...

我最近一直在找原因，有问过老师们，以前也没有遇到这种问题。如果找到原因所在会及时告诉你的，希望以后可以多交流。

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18楼2016-03-24 00:00:03
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1154606018

新虫 (小有名气)
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17楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-23 23:56:56
我觉得可以试试四探针法测试，你们西电做sic欧姆接触很厉害的，你可以请教一下他们呢，解决了告诉我一下了，谢谢
...

你用L-TLM测试结果也是一样吗

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19楼2016-03-24 09:02:48
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guotao019

新虫 (著名写手)
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19楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-24 09:02:48
你用L-TLM测试结果也是一样吗
...

L-TLM没有做隔离，所以没测。。。
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20楼2016-03-24 09:58:04
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