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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助大神：N型SiC欧姆接触测试问题
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1154606018

新虫 (小有名气)
对了，你有没有做过钝化啊

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21楼2016-03-24 19:21:24
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-24 19:21:24
对了，你有没有做过钝化啊

没有做钝化，你是指在没有欧姆的区域淀积钝化层？

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22楼2016-03-24 20:10:47
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by 1154606018 at 2016-03-24 19:21:24
对了，你有没有做过钝化啊

你好，想问下你的离子注入和外延片做的N型欧姆接触都拟合不出来吗？还是只有离子注入的拟合不出来？

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23楼2016-03-30 00:16:57
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fiance1210

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
guotao019: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢！ 2016-05-04 16:36:51
你好，我最近做n-GaN也遇到这个问题，不知道你用几探针测的，我之前做p-GaN欧姆接触，总电阻大约1500－3500欧，用二探针和四探针测量区别很小，但是做n-GaN时，总电阻只有大约6－10欧，用二探针测出来就与你的N型一样不能拟合成直线，用四探针测就能拟合的非常好，而且总电阻也小了很多，你可以试一下。
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24楼2016-05-04 09:26:39
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by fiance1210 at 2016-05-04 09:26:39
你好，我最近做n-GaN也遇到这个问题，不知道你用几探针测的，我之前做p-GaN欧姆接触，总电阻大约1500－3500欧，用二探针和四探针测量区别很小，但是做n-GaN时，总电阻只有大约6－10欧，用二探针测出来就与你的N型一 ...

您好，非常谢谢您的回复。我尽快试试四针测法。

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25楼2016-05-04 16:33:33
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by fiance1210 at 2016-05-04 09:26:39
你好，我最近做n-GaN也遇到这个问题，不知道你用几探针测的，我之前做p-GaN欧姆接触，总电阻大约1500－3500欧，用二探针和四探针测量区别很小，但是做n-GaN时，总电阻只有大约6－10欧，用二探针测出来就与你的N型一 ...

您好。麻烦问下这个四探针法是怎么测试的？

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26楼2016-05-04 16:45:34
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fiance1210

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
26楼: Originally posted by guotao019 at 2016-05-04 16:45:34
您好。麻烦问下这个四探针法是怎么测试的？
...

我是在高精度探针台上测量的，探针台上有四根针，两根针扎在圆环里面，两根针扎在圆环外面，四根针的扎针位置排成一条直线，设置圆环外两根针中最外面的一根针接地，其它几根针怎么接你得调试一下，只要调对了就能测出好的结果。四探针测量的原理你可以百度一下，也叫四端法测电阻。祝你成功。
求助大神：N型SiC欧姆接触测试问题
IMG_6657.JPG
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27楼2016-05-05 10:33:51
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
27楼: Originally posted by fiance1210 at 2016-05-05 10:33:51
我是在高精度探针台上测量的，探针台上有四根针，两根针扎在圆环里面，两根针扎在圆环外面，四根针的扎针位置排成一条直线，设置圆环外两根针中最外面的一根针接地，其它几根针怎么接你得调试一下，只要调对了就能 ...

谢谢，特别感谢

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28楼2016-05-05 12:32:18
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wq_forever

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
27楼: Originally posted by fiance1210 at 2016-05-05 10:33:51
我是在高精度探针台上测量的，探针台上有四根针，两根针扎在圆环里面，两根针扎在圆环外面，四根针的扎针位置排成一条直线，设置圆环外两根针中最外面的一根针接地，其它几根针怎么接你得调试一下，只要调对了就能 ...

请问用探针台自己搭建进行四探针法测试，四个探针必须保证一条直线吗？专门的四探针测试仪中四个探针是排成一条直线的，如果自己用探针搭建四探针法，需要必须排成直线吗？能帮忙解释一下吗？非常感谢，最近一直在困惑这个
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29楼2016-07-21 00:21:55
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fiance1210

金虫 (小有名气)
引用回帖:
29楼: Originally posted by wq_forever at 2016-07-21 00:21:55
请问用探针台自己搭建进行四探针法测试，四个探针必须保证一条直线吗？专门的四探针测试仪中四个探针是排成一条直线的，如果自己用探针搭建四探针法，需要必须排成直线吗？能帮忙解释一下吗？非常感谢，最近一直在 ...

如果测试的表面是半导体的，应该是排成直线且等间距，如果半导体的表面已经镀上金属，就不需要排成直线了，因为金属电导率很高，金属内部的电阻可以忽略，测试时只要两根扎在里面，两根扎在外面就可以。
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30楼2016-07-21 10:42:09
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