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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 电子束蒸发镀铝
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ruciwo

木虫 (正式写手)

[求助] 电子束蒸发镀铝 已有1人参与

电子束蒸发镀铝，感觉铝没有蒸发出来。求助办法
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1楼 2016-03-07 19:23:41
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是什么原因没蒸发出来？
1.检查铝氧化了没有，如果氧化的话，熔化温度会升高，有时候会出现蒸发不出来的情况
2.是不是出现了爬锅的现象？
3.蒸发不出来，是不是里面有些杂质？
4.工艺条件是否调整过？功率和电流？
5.是镀不上膜？看下衬底或者基片的附着力？
希望能帮的上你
赞一下 回复此楼
4楼2016-03-09 11:57:24
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2016-03-08 23:23:15
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ruciwo

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2016-03-08 23:23:15
用磁控溅射做吧，我们一直用磁控溅射给高校科研镀铝

晕。说说原因噻

发自小木虫Android客户端
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3楼2016-03-08 23:42:41
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ruciwo

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by huihui2eat at 2016-03-09 11:57:24
是什么原因没蒸发出来？
1.检查铝氧化了没有，如果氧化的话，熔化温度会升高，有时候会出现蒸发不出来的情况
2.是不是出现了爬锅的现象？
3.蒸发不出来，是不是里面有些杂质？
4.工艺条件是否调整过？功率和电流 ...

1使用的是纯铝块，在空气中就可以加热融化.
2无爬锅
3无杂质
4高压8kv 束流100mA
5衬底就是玻璃基片
赞一下 回复此楼
5楼2016-03-10 14:34:29
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