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ruciwo

木虫 (正式写手)

[求助] 电子束蒸发镀铝 已有1人参与

电子束蒸发镀铝,感觉铝没有蒸发出来。求助办法
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2016-03-08 23:23:15
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ruciwo

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2016-03-08 23:23:15
用磁控溅射做吧,我们一直用磁控溅射给高校科研镀铝

晕。说说原因噻

发自小木虫Android客户端
3楼2016-03-08 23:42:41
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是什么原因没蒸发出来?
1.检查铝氧化了没有,如果氧化的话,熔化温度会升高,有时候会出现蒸发不出来的情况
2.是不是出现了爬锅的现象?
3.蒸发不出来,是不是里面有些杂质?
4.工艺条件是否调整过?功率和电流?
5.是镀不上膜?看下衬底或者基片的附着力?
希望能帮的上你
4楼2016-03-09 11:57:24
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ruciwo

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by huihui2eat at 2016-03-09 11:57:24
是什么原因没蒸发出来?
1.检查铝氧化了没有,如果氧化的话,熔化温度会升高,有时候会出现蒸发不出来的情况
2.是不是出现了爬锅的现象?
3.蒸发不出来,是不是里面有些杂质?
4.工艺条件是否调整过?功率和电流 ...

1使用的是纯铝块,在空气中就可以加热融化.
2无爬锅
3无杂质
4高压8kv 束流100mA
5衬底就是玻璃基片
5楼2016-03-10 14:34:29
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郭心雨

铁虫 (小有名气)

需要衬底及光刻胶吗?可以私信哦

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-03-10 16:28:03
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