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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助 用HF缓冲液刻蚀玻璃 腔体表面很粗糙 应该怎么办
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抹茶蛋蛋

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助 用HF缓冲液刻蚀玻璃 腔体表面很粗糙 应该怎么办 已有2人参与

用HF缓冲液来刻蚀玻璃片（硅片规格），形成固定腔长的腔体，通过做实验，刻蚀160nm深的腔，但是腔体的表面很粗糙，用台阶仪测得的峰谷值超过了30nm，自己也想了想原因，采用的玻璃片含有其他的成分，如Na2O，Al2O3等，会生成不易挥发的产物覆盖在玻璃表面，自己想的解决方法有在玻璃片上镀一层氧化硅进行刻蚀，或者采用高纯度的玻璃片，虫友们有做过类似工艺的，有没有好的建议，谢谢了。
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adam_

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1楼 2016-03-02 11:43:45
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
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抹茶蛋蛋: 金币+20 2016-03-07 10:42:54
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抹茶蛋蛋
2楼2016-03-03 08:13:16
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抹茶蛋蛋

铜虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-03-03 08:13:16
个人觉得湿法腐蚀这个级别的粗糙度已经很难去降低了，若是因为产生覆盖的产物，那就搅拌与超声，看看有没有效果，适当的降低溶液浓度，应该也会有些效果，欢迎试验结果再分享

搅拌由于没有专用的搅拌器，在刻蚀的时候用镊子夹住玻璃片不停的晃动，下午试试超声环境下，谢谢了。
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3楼2016-03-03 09:36:27
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

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4楼2016-03-03 23:09:24
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抹茶蛋蛋

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 小博士后 at 2016-03-03 23:09:24
玻璃刻蚀我们深度能做到160微米，如果你想外协加工可以联系我们,我账户里面有公司网站。

深度没问题的，要求的是平整度

发自小木虫Android客户端
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5楼2016-03-04 20:21:56
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adam_

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
楼主你的HF缓冲液的配比可以说一下吗？
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6楼2016-10-25 17:50:18
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