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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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hongju1007

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO蚀刻液的问题

用盐酸、硝酸和水混合的蚀刻液蚀刻ITO膜的化学方程式是什么?ITO膜中的SnO2能不能被溶解?溶解后是几价的?查了好多资料说SnO2不溶于酸,是不是就是说蚀刻的时候锡没有进入蚀刻液,还是有一部分锡进入蚀刻液中,进入蚀刻液的这部分锡是几价的?各位大神急用啊,帮帮忙!谢谢~!
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jzhang1210

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fds329: 金币+3, 感谢应助。辛苦了O(∩_∩)O 2012-05-24 20:56:06
SnO2 + 4H+ → Sn4+ + 2H2O
In2O3 + 6H+ → 2In3+ + 3H2O
2楼2012-05-24 16:32:15
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yanglusuda

金虫 (小有名气)

你好,我是新手,请问这个问题你弄清楚了吗?
还有如果用盐酸溶液蚀刻ITO,反应方程式是什么?是一般的中和反应还是氧化还原反应?非常感谢!
云里雾里的日子
3楼2015-03-25 22:15:27
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kebaokeji

新虫 (初入文坛)

自已搞污染太严重,气味太大,产生黄烟二氧化氮(酸分解产生的)易中毒,节省不了成本,而且强酸对设备腐蚀损耗维修成本很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了,无味无烟无酸,没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液,无气味,速度稳定,原料成本消耗也很少,一个月才几百公斤搞定。
杨生
4楼2016-01-09 09:51:54
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