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天若将白

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃上电子束蒸镀CR+Au，剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落，粘不住，请问什么原因已有3人参与

简述一下我的工艺流程：
方案一：清洗玻璃（丙酮、酒精、去离子水各5min）--烘干--匀胶（低速500，高速3000）--前烘5min--曝光7s（最小线宽50微米）--显影--后烘（10min）--氧等离子体轰200W+30s--电子束蒸镀10nmCr+100nmAu--丙酮浸泡剥离
方案二：过程同上，高速1800
方案三：高速1600，省去后烘和氧等离子体轰
请问有有经验人士可以解答一下是什么问题吗？

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1楼2018-10-23 20:41:11
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看步骤，应该是显影那步有残胶吧？如果镀Cr工艺成熟的话，建议上显影后的图片
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6楼2018-11-06 19:14:07
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acer1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
曝光或者显影步骤没有做好吧，楼主使用的是什么光刻胶？
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2楼2018-10-23 20:54:33
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天若将白

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by acer1992 at 2018-10-23 20:54:33
曝光或者显影步骤没有做好吧，楼主使用的是什么光刻胶？

epg535

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3楼2018-10-24 01:34:37
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天若将白

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天若将白 at 2018-10-24 01:34:37
epg535
...

已经重复了好几次了，没有一次成功的

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4楼2018-10-24 01:35:37
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查看全部 7 个回答
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