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天若将白

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃上电子束蒸镀CR+Au,剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落,粘不住,请问什么原因已有3人参与

简述一下我的工艺流程:
方案一:清洗玻璃(丙酮、酒精、去离子水各5min)--烘干--匀胶(低速500,高速3000)--前烘5min--曝光7s(最小线宽50微米)--显影--后烘(10min)--氧等离子体轰200W+30s--电子束蒸镀10nmCr+100nmAu--丙酮浸泡剥离
方案二:过程同上,高速1800
方案三:高速1600,省去后烘和氧等离子体轰
请问有有经验人士可以解答一下是什么问题吗?

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acer1992

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
曝光或者显影步骤没有做好吧,楼主使用的是什么光刻胶?
2楼2018-10-23 20:54:33
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天若将白

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by acer1992 at 2018-10-23 20:54:33
曝光或者显影步骤没有做好吧,楼主使用的是什么光刻胶?

epg535

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3楼2018-10-24 01:34:37
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天若将白

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 天若将白 at 2018-10-24 01:34:37
epg535
...

已经重复了好几次了,没有一次成功的

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4楼2018-10-24 01:35:37
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daerbeijita

金虫 (正式写手)

**尚未成功,同志仍需努力
5楼2018-10-24 12:28:38
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看步骤,应该是显影那步有残胶吧?如果镀Cr工艺成熟的话,建议上显影后的图片
6楼2018-11-06 19:14:07
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gyxzby

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

从你的描述来看,应该是光刻胶残留,显影未完全显影或者未完全曝光导致。溅射完以后一倒入丙酮就将光刻胶完全剥离了
确定你试验过程中光刻胶是否完全去除,增加曝光时间和显影时间为一个条件与你之前的条件对比,台阶测量一下光刻胶厚度,看看是否有差异。你做的等离子去胶工艺去掉多少光刻胶你也要确定一下,我看你的工艺前烘时间,后烘时间也太长了吧,看看你使用的光刻胶技术参数,台湾永光光刻胶肯定都有推荐值,因为过量的前烘会导致感光性变差,所以你曝光显影没办法完全显影,玻璃片表面会有一层光刻胶底膜,自然你丙酮全部把你的蒸镀金属掀起来了
7楼2018-11-23 11:44:04
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