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微米和纳米 玻璃上电子束蒸镀CR+Au,剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落,粘...
方案:清洗玻璃丙酮、酒精、去离子水各5min)-烘干-匀胶(低速500,高速3000)-前烘5min-曝光7s(最小线宽50微米)-显影-后...丙酮浸泡剥离方案二:过程同上,高速1800方案三:高速1600,...
天若将白 2018-10-23 12:11