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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 玻璃上电子束蒸镀CR+Au，剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落，粘不住，请问什么原因
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天若将白

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃上电子束蒸镀CR+Au，剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落，粘不住，请问什么原因 已有3人参与

简述一下我的工艺流程：
方案一：清洗玻璃（丙酮、酒精、去离子水各5min）--烘干--匀胶（低速500，高速3000）--前烘5min--曝光7s（最小线宽50微米）--显影--后烘（10min）--氧等离子体轰200W+30s--电子束蒸镀10nmCr+100nmAu--丙酮浸泡剥离
方案二：过程同上，高速1800
方案三：高速1600，省去后烘和氧等离子体轰
请问有有经验人士可以解答一下是什么问题吗？

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1楼 2018-10-23 20:41:11
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acer1992

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
曝光或者显影步骤没有做好吧，楼主使用的是什么光刻胶？
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2楼2018-10-23 20:54:33
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天若将白

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by acer1992 at 2018-10-23 20:54:33
曝光或者显影步骤没有做好吧，楼主使用的是什么光刻胶？

epg535

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3楼2018-10-24 01:34:37
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天若将白

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天若将白 at 2018-10-24 01:34:37
epg535
...

已经重复了好几次了，没有一次成功的

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4楼2018-10-24 01:35:37
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
过曝加过显试试呢

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**尚未成功，同志仍需努力
5楼2018-10-24 12:28:38
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看步骤，应该是显影那步有残胶吧？如果镀Cr工艺成熟的话，建议上显影后的图片
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6楼2018-11-06 19:14:07
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

从你的描述来看，应该是光刻胶残留，显影未完全显影或者未完全曝光导致。溅射完以后一倒入丙酮就将光刻胶完全剥离了
确定你试验过程中光刻胶是否完全去除，增加曝光时间和显影时间为一个条件与你之前的条件对比，台阶测量一下光刻胶厚度，看看是否有差异。你做的等离子去胶工艺去掉多少光刻胶你也要确定一下，我看你的工艺前烘时间，后烘时间也太长了吧，看看你使用的光刻胶技术参数，台湾永光光刻胶肯定都有推荐值，因为过量的前烘会导致感光性变差，所以你曝光显影没办法完全显影，玻璃片表面会有一层光刻胶底膜，自然你丙酮全部把你的蒸镀金属掀起来了
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7楼2018-11-23 11:44:04
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