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玻璃上电子束蒸镀CR+Au，剥离时一倒入丙酮就金属就整体脱落，粘不住，请问什么原因 已有3人参与
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简述一下我的工艺流程： 方案一：清洗玻璃（丙酮、酒精、去离子水各5min）--烘干--匀胶（低速500，高速3000）--前烘5min--曝光7s（最小线宽50微米）--显影--后烘（10min）--氧等离子体轰200W+30s--电子束蒸镀10nmCr+100nmAu--丙酮浸泡剥离 方案二：过程同上，高速1800 方案三：高速1600，省去后烘和氧等离子体轰 请问有有经验人士可以解答一下是什么问题吗？ 发自小木虫IOS客户端 |
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