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时移事异

木虫 (正式写手)

[求助] SEM图像问题 已有1人参与

IMC用什么腐蚀可以在SEM下看得更清楚
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riyuelitian

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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时移事异: 金币+100, ★★★很有帮助 2016-01-23 18:51:04
一般都是用硝酸腐蚀,具体配方在各类文件中有差异,举两个:
1甲醇硝酸溶液 ,其配比为 CH3 OH∶HNO3 ∶HCl为 95∶3∶2
2用传统的氨水+双氧水先将的铜面微蚀清楚,再用硝酸酒精溶液腐蚀
大学之道,在明明德,在亲民,在止于至善。
2楼2016-01-23 17:14:04
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时移事异

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by riyuelitian at 2016-01-23 17:14:04
一般都是用硝酸腐蚀,具体配方在各类文件中有差异,举两个:
1甲醇硝酸溶液 ,其配比为 CH3 OH∶HNO3 ∶HCl为 95∶3∶2
2用传统的氨水+双氧水先将的铜面微蚀清楚,再用硝酸酒精溶液腐蚀

有些铜与IMC之间有镍的用什么微蚀好呢

发自小木虫Android客户端
3楼2016-01-23 18:53:06
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