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时移事异

木虫 (正式写手)

[求助] SEM图像问题 已有1人参与

IMC用什么腐蚀可以在SEM下看得更清楚
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1楼 2016-01-22 13:57:54
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riyuelitian

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
时移事异: 金币+100, ★★★很有帮助 2016-01-23 18:51:04
一般都是用硝酸腐蚀，具体配方在各类文件中有差异，举两个：
1甲醇硝酸溶液 ,其配比为 CH3 OH∶HNO3 ∶HCl为 95∶3∶2
2用传统的氨水+双氧水先将的铜面微蚀清楚,再用硝酸酒精溶液腐蚀
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大学之道，在明明德，在亲民，在止于至善。
2楼2016-01-23 17:14:04
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时移事异

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by riyuelitian at 2016-01-23 17:14:04
一般都是用硝酸腐蚀，具体配方在各类文件中有差异，举两个：
1甲醇硝酸溶液 ,其配比为 CH3 OH∶HNO3 ∶HCl为 95∶3∶2
2用传统的氨水+双氧水先将的铜面微蚀清楚,再用硝酸酒精溶液腐蚀

有些铜与IMC之间有镍的用什么微蚀好呢

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3楼2016-01-23 18:53:06
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