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ycp123

银虫 (小有名气)

[求助] 请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析之间的比较 已有3人参与

请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析,两份数据对应不起来,请问怎么处理?请问两种测试方式的区别,差异
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努力努力再努力
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元素分析

铁虫 (小有名气)


引用回帖:
5楼: Originally posted by ycp123 at 2016-01-26 15:37:11
是多层的结构,通过XPS刻蚀来确定内部元素含量是否恒定...

嗯 那这个可以的,大概要刻蚀多深呢
7楼2016-01-26 16:43:24
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查看全部 13 个回答

卡卡爱12

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
EDS做出的结果误差应该比XPS大一些,我认为,一般前者只是作定性说明,元素定量分析误差较大,如需要较为精确的话,就需要找其他化学分析手段。xps较多的用做原子结合能分析。

发自小木虫Android客户端
一事无成
2楼2016-01-20 23:33:26
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小林子6272

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ycp123: 金币+5, 有帮助 2016-01-26 15:39:14
EDS是微米级的探测深度,XPS是探测深度也就10nm作用,能没区别吗?这么说吧,一个是一定程度上的体相分析,一个是表面分析,懂了吗?
3楼2016-01-21 10:45:35
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元素分析

铁虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ycp123: 金币+5, 有帮助 2016-01-26 15:39:25
看你什么样品了,这两者说实话做元素分析都不靠谱,都是个定性分析,定性的话这两个也说不准哪个更准,还是看具体的样品和操作了,如果要定量可以使用XRF,ICP等的定量还是比较合适
4楼2016-01-22 09:54:49
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