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ycp123

银虫 (小有名气)

[求助] 请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析之间的比较 已有3人参与

请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析,两份数据对应不起来,请问怎么处理?请问两种测试方式的区别,差异
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ycp123

银虫 (小有名气)

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4楼: Originally posted by 元素分析 at 2016-01-22 09:54:49
看你什么样品了,这两者说实话做元素分析都不靠谱,都是个定性分析,定性的话这两个也说不准哪个更准,还是看具体的样品和操作了,如果要定量可以使用XRF,ICP等的定量还是比较合适

是多层的结构,通过XPS刻蚀来确定内部元素含量是否恒定
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5楼2016-01-26 15:37:11
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ycp123

银虫 (小有名气)

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3楼: Originally posted by 小林子6272 at 2016-01-21 10:45:35
EDS是微米级的探测深度,XPS是探测深度也就10nm作用,能没区别吗?这么说吧,一个是一定程度上的体相分析,一个是表面分析,懂了吗?

想是通过xps做不同深度的刻蚀,来确定元素含量是否恒定
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6楼2016-01-26 15:38:28
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ycp123

银虫 (小有名气)

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7楼: Originally posted by 元素分析 at 2016-01-26 16:43:24
嗯 那这个可以的,大概要刻蚀多深呢...

薄膜厚度在2微米左右,想刻蚀到1微米,得到数据与EDS测出来有很大差距
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9楼2016-01-27 16:35:42
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ycp123

银虫 (小有名气)

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11楼: Originally posted by 静花雨季 at 2016-06-16 23:17:29
我的也是层状结构材料,想看一下元素分布,应该用EDS还是XPS呢

xps一般做的是表面元素分析,当然可以刻蚀,这样可以测出来不同厚度层上的元素含量。EDS比较水,金属元素测的稍微准一些。

发自小木虫Android客户端
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13楼2016-08-28 16:12:40
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