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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 测试表征 » 请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析之间的比较
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ycp123

银虫 (小有名气)

[求助] 请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析之间的比较 已有3人参与

请问EDS做出来的元素含量分析和XPS做出来的元素含量分析，两份数据对应不起来，请问怎么处理？请问两种测试方式的区别，差异
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努力努力再努力
1楼 2016-01-20 10:19:23
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

卡卡爱12

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
EDS做出的结果误差应该比XPS大一些，我认为，一般前者只是作定性说明，元素定量分析误差较大，如需要较为精确的话，就需要找其他化学分析手段。xps较多的用做原子结合能分析。

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一事无成
2楼2016-01-20 23:33:26
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小林子6272

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ycp123: 金币+5, ★有帮助 2016-01-26 15:39:14
EDS是微米级的探测深度，XPS是探测深度也就10nm作用，能没区别吗？这么说吧，一个是一定程度上的体相分析，一个是表面分析，懂了吗？
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3楼2016-01-21 10:45:35
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元素分析

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ycp123: 金币+5, ★有帮助 2016-01-26 15:39:25
看你什么样品了，这两者说实话做元素分析都不靠谱，都是个定性分析，定性的话这两个也说不准哪个更准，还是看具体的样品和操作了，如果要定量可以使用XRF,ICP等的定量还是比较合适
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4楼2016-01-22 09:54:49
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普通回帖

ycp123

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 元素分析 at 2016-01-22 09:54:49
看你什么样品了，这两者说实话做元素分析都不靠谱，都是个定性分析，定性的话这两个也说不准哪个更准，还是看具体的样品和操作了，如果要定量可以使用XRF,ICP等的定量还是比较合适

是多层的结构，通过XPS刻蚀来确定内部元素含量是否恒定
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努力努力再努力
5楼2016-01-26 15:37:11
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ycp123

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小林子6272 at 2016-01-21 10:45:35
EDS是微米级的探测深度，XPS是探测深度也就10nm作用，能没区别吗？这么说吧，一个是一定程度上的体相分析，一个是表面分析，懂了吗？

想是通过xps做不同深度的刻蚀，来确定元素含量是否恒定
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努力努力再努力
6楼2016-01-26 15:38:28
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元素分析

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ycp123 at 2016-01-26 15:37:11
是多层的结构，通过XPS刻蚀来确定内部元素含量是否恒定...

嗯 那这个可以的，大概要刻蚀多深呢
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7楼2016-01-26 16:43:24
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Miss Black

新虫 (著名写手)
不懂，我用的AAS

发自小木虫Android客户端
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8楼2016-01-26 17:24:38
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ycp123

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 元素分析 at 2016-01-26 16:43:24
嗯 那这个可以的，大概要刻蚀多深呢...

薄膜厚度在2微米左右，想刻蚀到1微米，得到数据与EDS测出来有很大差距
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努力努力再努力
9楼2016-01-27 16:35:42
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元素分析

铁虫 (小有名气)
刻蚀到1微米是比较困难的，基本上刻蚀个10次一般设备就不行了

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10楼2016-01-27 17:22:40
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