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银虫 (小有名气)

[交流] 关于mems工艺方面的期刊已有1人参与

博士期间转了方向攻读工艺，跟各位咨询一下有关于MEMS工艺方面的期刊有哪些，PS:外文文献？

修身齐家平天下

1楼 2016-01-12 15:23:23

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新虫 (小有名气)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

1. Journal of microelectromechanical systems
2. Journal of materials science
3. Sensors and Actuators A,Sensors and Actuators B

2楼2018-09-27 19:35:37

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