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lcp19900210

银虫 (正式写手)

[求助] 真空蒸镀铝膜的退火处理温度

本人在普通载玻片上真空蒸镀了一层50nm左右的铝膜,为了进一步降低铝膜的粗糙程度,想采用退火的方式进行处理,想问一下退火的温度大概多少合适?保温时间大概需要多久?有没有具体一点的文章?先谢谢各位了
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by southr at 2016-04-12 19:57:53
请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整?
我们最近在硅片上镀,始终镀不好...

不知你说的平整是不是指粗糙度。
膜的粗糙度和基片密切相关,如果Si片本身粗糙度高了,镀出来
的膜不会好。此外和Si片清洗是否干净、镀膜参数都有关系
5楼2016-04-14 16:33:28
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查看全部 7 个回答

love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)

退火会让铝膜粗糙度增加

发自小木虫Android客户端
2楼2016-01-15 23:24:05
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lcp19900210

银虫 (正式写手)

非常感谢,退火后确实粗糙了不少
3楼2016-01-20 10:19:09
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southr

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lcp19900210 at 2016-01-20 10:19:09
非常感谢,退火后确实粗糙了不少

请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整?
我们最近在硅片上镀,始终镀不好
4楼2016-04-12 19:57:53
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