24小时热门版块排行榜    

查看: 1919  |  回复: 6

lcp19900210

银虫 (正式写手)

[求助] 真空蒸镀铝膜的退火处理温度

本人在普通载玻片上真空蒸镀了一层50nm左右的铝膜,为了进一步降低铝膜的粗糙程度,想采用退火的方式进行处理,想问一下退火的温度大概多少合适?保温时间大概需要多久?有没有具体一点的文章?先谢谢各位了
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)

退火会让铝膜粗糙度增加

发自小木虫Android客户端
2楼2016-01-15 23:24:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lcp19900210

银虫 (正式写手)

非常感谢,退火后确实粗糙了不少
3楼2016-01-20 10:19:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

southr

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lcp19900210 at 2016-01-20 10:19:09
非常感谢,退火后确实粗糙了不少

请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整?
我们最近在硅片上镀,始终镀不好
4楼2016-04-12 19:57:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by southr at 2016-04-12 19:57:53
请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整?
我们最近在硅片上镀,始终镀不好...

不知你说的平整是不是指粗糙度。
膜的粗糙度和基片密切相关,如果Si片本身粗糙度高了,镀出来
的膜不会好。此外和Si片清洗是否干净、镀膜参数都有关系
5楼2016-04-14 16:33:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengkeji

新虫 (知名作家)

你好,想问你关于磁控溅射方面或者真空蒸镀方面的问题,能留个联系方式吗?
6楼2016-05-07 10:08:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ColinTo

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by southr at 2016-04-12 19:57:53
请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整?
我们最近在硅片上镀,始终镀不好...

是不是腔的真空度越好,膜的质量会越高
7楼2016-06-17 08:21:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lcp19900210 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 8/400 2026-08-22 23:51 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 3/150 2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 3/150 2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 5/250 2026-08-22 21:54 by OEbVnUOu01ol
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +3 简单化xn 2026-08-22 7/350 2026-08-22 19:46 by 简单化xn
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10 kulium 2026-08-21 13/650 2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见