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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 真空蒸镀铝膜的退火处理温度
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lcp19900210

银虫 (正式写手)

[求助] 真空蒸镀铝膜的退火处理温度

本人在普通载玻片上真空蒸镀了一层50nm左右的铝膜，为了进一步降低铝膜的粗糙程度，想采用退火的方式进行处理，想问一下退火的温度大概多少合适？保温时间大概需要多久？有没有具体一点的文章？先谢谢各位了
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薄膜制备与特性

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1楼 2016-01-12 14:31:11
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love_cs

捐助贵宾 (初入文坛)
退火会让铝膜粗糙度增加

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2楼2016-01-15 23:24:05
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lcp19900210

银虫 (正式写手)
非常感谢，退火后确实粗糙了不少
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3楼2016-01-20 10:19:09
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southr

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lcp19900210 at 2016-01-20 10:19:09
非常感谢，退火后确实粗糙了不少

请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整？
我们最近在硅片上镀，始终镀不好
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4楼2016-04-12 19:57:53
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by southr at 2016-04-12 19:57:53
请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整？
我们最近在硅片上镀，始终镀不好...

不知你说的平整是不是指粗糙度。
膜的粗糙度和基片密切相关，如果Si片本身粗糙度高了，镀出来
的膜不会好。此外和Si片清洗是否干净、镀膜参数都有关系
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5楼2016-04-14 16:33:28
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chengkeji

新虫 (知名作家)
你好，想问你关于磁控溅射方面或者真空蒸镀方面的问题，能留个联系方式吗?
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6楼2016-05-07 10:08:40
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ColinTo

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by southr at 2016-04-12 19:57:53
请问楼主怎么样镀出来的铝比较平整？
我们最近在硅片上镀，始终镀不好...

是不是腔的真空度越好，膜的质量会越高
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7楼2016-06-17 08:21:25
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