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jlp102054

新虫 (初入文坛)

[交流] NiO薄膜做霍尔效应测试,为形成欧姆接触,请问大家一般用什么方法

我们尝试用NiO靶溅射到玻璃基底上形成薄膜,厚度在100nm,想做霍尔效应测试。我们以前用磁控溅射(类似SEM样品的处理办法)处理了四个点,但是发现现在测不出数据。测试老师说我们可能形成的是模特肖特基接触,没有达到欧姆接触。所以测不出来。所以想问下各位大神,有经验的一般用的是什么处理方法形成欧姆接触。感谢!
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晚街听雨

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
同做NiO,请问有没有什么好的方法形成欧姆接触。
学习者
7楼2018-04-19 16:21:52
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jlp102054

新虫 (初入文坛)

求顶,有没有同学遇到过相同问题(O_O)?

发自小木虫Android客户端
2楼2016-01-11 22:25:35
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林深之夏

铁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不懂帮顶!我们欧姆接触是涂的Al,Ag导电能力强!
哦哦哦!加油啊!
3楼2016-01-12 17:07:21
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jlp102054

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 林深之夏 at 2016-01-12 17:07:21
不懂帮顶!我们欧姆接触是涂的Al,Ag导电能力强!

我们以前测FTO的时候用磁控溅射四个点溅射上pt是可以测到数据的。但是现在测NIO就不行了。不知道是不是欧姆接触不好的原因

发自小木虫Android客户端
4楼2016-01-13 13:22:31
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