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jlp102054

新虫 (初入文坛)

[交流] NiO薄膜做霍尔效应测试，为形成欧姆接触，请问大家一般用什么方法

我们尝试用NiO靶溅射到玻璃基底上形成薄膜，厚度在100nm，想做霍尔效应测试。我们以前用磁控溅射（类似SEM样品的处理办法）处理了四个点，但是发现现在测不出数据。测试老师说我们可能形成的是模特肖特基接触，没有达到欧姆接触。所以测不出来。所以想问下各位大神，有经验的一般用的是什么处理方法形成欧姆接触。感谢！
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晚街听雨

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1楼 2016-01-11 10:53:53
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jlp102054

新虫 (初入文坛)
求顶，有没有同学遇到过相同问题(O_O)？

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2楼2016-01-11 22:25:35
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林深之夏

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不懂帮顶！我们欧姆接触是涂的Al，Ag导电能力强！
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哦哦哦！加油啊！
3楼2016-01-12 17:07:21
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jlp102054

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 林深之夏 at 2016-01-12 17:07:21
不懂帮顶！我们欧姆接触是涂的Al，Ag导电能力强！

我们以前测FTO的时候用磁控溅射四个点溅射上pt是可以测到数据的。但是现在测NIO就不行了。不知道是不是欧姆接触不好的原因

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4楼2016-01-13 13:22:31
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wangyong832

银虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
考虑是否超过测量范围

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2016-01-17 23:27:11
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jlp102054

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyong832 at 2016-01-17 23:27:11
考虑是否超过测量范围

你指的是超过仪器测试范围么？我以为是我用喷金的办法和薄膜形成了肖特基接触，电压基本都是加在界面上了，所以测不出来

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6楼2016-01-18 23:04:25
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晚街听雨

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
同做NiO,请问有没有什么好的方法形成欧姆接触。
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学习者
7楼2018-04-19 16:21:52
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