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soul汽水

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射通氧一定要是高纯氧吗?普通的可以吗已有3人参与

磁控溅射通氧一定要是高纯氧吗?普通的可以吗。用普通氧溅射会有什么问题吗
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射通氧主要是反应气体,杂质气体反应的话,沉积的膜纯度就差了

看你沉积膜的要求,氧气又不贵,5N的纯度很常见的吧
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
2楼2016-01-11 22:06:01
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yuenoble

新虫 (初入文坛)

99.9%以上即可,一般能满足磁控溅射的工艺要求。部分要求特别高的磁控溅射可能纯度要求更高。
3楼2016-01-13 22:40:32
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小白雪

木虫 (正式写手)

名字好幼稚的。。。

【答案】应助回帖

..普通氧气,你就不需要用高纯靶材了。还有考虑是否会导致靶材中毒啊。
单身贵族。
4楼2016-01-14 10:58:25
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caojingpie

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氧气不贵,用好点的吧
5楼2016-01-14 11:32:11
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