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梧桐雪

铁虫 (小有名气)

[交流] TiO2-SiO2 多层膜反射膜-近紫外吸收问题

各位前辈/专业人士:
你们好。小虫我最近在研究镀膜的问题,主要是想在石英、硅片基底上生长多层的高反射膜。计划选择TiO2和SiO2材料对做多层介质高反膜。
(1)如果选择TiO2和SiO2两种材料作为材料对,设计一个中心波长为400nm的15层的高反射膜系,膜系结构为S[H(LH)&7]A,每层TiO2和SiO2厚度分别为42.27nm,71.52nm。采用蒸发镀膜或是磁控溅射方式制备多层膜,那么这个多层反射膜会不会存在严重的吸收问题?吸收问题会导致实际膜系的反射率与设计的反射率差别很大呢?
(2)需要说明本身这种膜系不是用在激光领域的,如果存在吸收,那么会有反射率大的影响吗?
(3)如果通过波段展宽的方式,将中心波长为400nm和530nm的两个多层膜系结合起来,总共31层,那么这种膜系在蒸发或是溅射镀膜方式下技术有没有什么问题呢?
(4)如果这种材料对不合适,那么选择什么材料对更合适呢?

这个问题对我比较重要,鉴于自己没有过什么镀膜经验,请各位不吝指点。

谢谢!

TiO2-SiO2 多层膜反射膜-近紫外吸收问题
多层膜.png
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like0405

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主,您好。最近也计划做类似的多层膜。刚入行,想了解下你们具体的镀膜方式,这种多层膜的话用蒸发镀膜或是磁控溅射方式制备可以么?腔体要一直换么?不太懂,求指导。感激。
7楼2018-10-09 12:46:56
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangfenguo at 2016-01-01 19:41:46
祝好运!

谢谢。
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3楼2016-01-01 20:16:18
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这两个材料叠加成膜,紫光区域反射会增加很多,在整个可见光范围内反射也会升高,透过率下降。但是可见光范围的吸收并不大,百分之几吧
宁可心在江湖言江湖,不可身在江湖怨江湖!
4楼2016-01-05 10:37:03
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lg2880 at 2016-01-05 10:37:03
这两个材料叠加成膜,紫光区域反射会增加很多,在整个可见光范围内反射也会升高,透过率下降。但是可见光范围的吸收并不大,百分之几吧

你好,紫光区域具体是指哪个波长范围内呢?另外,您说的可见光范围的吸收在百分之几,能具体点说是在哪个波长区域内呢?
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6楼2016-01-05 20:47:48
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