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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » TiO2-SiO2 多层膜反射膜-近紫外吸收问题
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)

[交流] TiO2-SiO2 多层膜反射膜-近紫外吸收问题

各位前辈/专业人士：
你们好。小虫我最近在研究镀膜的问题，主要是想在石英、硅片基底上生长多层的高反射膜。计划选择TiO2和SiO2材料对做多层介质高反膜。
（1）如果选择TiO2和SiO2两种材料作为材料对，设计一个中心波长为400nm的15层的高反射膜系，膜系结构为S[H(LH)&7]A，每层TiO2和SiO2厚度分别为42.27nm，71.52nm。采用蒸发镀膜或是磁控溅射方式制备多层膜，那么这个多层反射膜会不会存在严重的吸收问题？吸收问题会导致实际膜系的反射率与设计的反射率差别很大呢？
（2）需要说明本身这种膜系不是用在激光领域的，如果存在吸收，那么会有反射率大的影响吗？
（3）如果通过波段展宽的方式，将中心波长为400nm和530nm的两个多层膜系结合起来，总共31层，那么这种膜系在蒸发或是溅射镀膜方式下技术有没有什么问题呢？
（4）如果这种材料对不合适，那么选择什么材料对更合适呢？

这个问题对我比较重要，鉴于自己没有过什么镀膜经验，请各位不吝指点。

谢谢！

TiO2-SiO2 多层膜反射膜-近紫外吸收问题
多层膜.png
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1楼 2016-01-01 16:11:59
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhangfenguo at 2016-01-01 19:41:46
祝好运！

谢谢。
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3楼2016-01-01 20:16:18
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这两个材料叠加成膜，紫光区域反射会增加很多，在整个可见光范围内反射也会升高，透过率下降。但是可见光范围的吸收并不大，百分之几吧
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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
4楼2016-01-05 10:37:03
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梧桐雪

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lg2880 at 2016-01-05 10:37:03
这两个材料叠加成膜，紫光区域反射会增加很多，在整个可见光范围内反射也会升高，透过率下降。但是可见光范围的吸收并不大，百分之几吧

你好，紫光区域具体是指哪个波长范围内呢？另外，您说的可见光范围的吸收在百分之几，能具体点说是在哪个波长区域内呢？
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6楼2016-01-05 20:47:48
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like0405

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，您好。最近也计划做类似的多层膜。刚入行，想了解下你们具体的镀膜方式，这种多层膜的话用蒸发镀膜或是磁控溅射方式制备可以么？腔体要一直换么？不太懂，求指导。感激。
赞一下 回复此楼
7楼2018-10-09 12:46:56
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