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lg2880铁杆木虫 (正式写手)
【鬼迷日眼】
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[交流]
磁控溅射关于靶基距与功率密度的关系！！
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| 请教各位大侠，磁控溅射靶基距与功率密度有关系吗？相同尺寸的溅射室，相同的功率下，靶基距不同，功率密度是否相同呢？功率密度的计算是不是以面积或体积来计算都可以？ |
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靶距与功率密度无关！功率密度是施加到靶上的功率与靶面积之比，与其他因素无关！ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2015-12-23 23:49:47
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2楼2015-12-23 16:04:58
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