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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射关于靶基距与功率密度的关系！！
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】
引用回帖:
9楼: Originally posted by suifeng_muiq at 2015-12-24 14:06:37
不是圆柱体的表面积！像我们实验室用的靶材都是2mm的圆柱体，但是计算功率密度只考虑一个圆面的面积！
...

实验室的计算一个圆面积，那是这个圆面是辉光轰击的那个面嘛？但如果我是两个圆柱体的靶筒，水平放置，辉光在圆柱体下面，两个靶筒旋转的同时被阳离子轰击。这个时候计算靶材的面积，是不是应该是辉光覆盖范围的面积？
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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
11楼2015-12-25 11:16:29
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kaixinjw

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
lg2880: 金币+5, 赞 2015-12-28 10:17:41
除以靶材外表面积
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12楼2015-12-25 20:42:08
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zf2385586194

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们最近在搞这方面东西，然而我也不知道怎么算得，。

发自小木虫Android客户端
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13楼2015-12-28 21:00:59
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】
引用回帖:
13楼: Originally posted by zf2385586194 at 2015-12-28 21:00:59
我们最近在搞这方面东西，然而我也不知道怎么算得，。

有空可以多多交流
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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
14楼2015-12-29 08:47:51
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LED_kevin

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我本科毕业论文做的是离子束溅射（磁控溅射另一个同学做的），感觉靶基距和功率密度应该是没有关系的（没有想过），但靶基距会影响衬底沉积速率以及均匀度
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既然不能改变外界，那就改变自己吧！
15楼2015-12-30 18:48:46
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】
引用回帖:
15楼: Originally posted by LED_kevin at 2015-12-30 18:48:46
我本科毕业论文做的是离子束溅射（磁控溅射另一个同学做的），感觉靶基距和功率密度应该是没有关系的（没有想过），但靶基距会影响衬底沉积速率以及均匀度

你说的很对，赞，多交流
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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
16楼2015-12-31 08:31:34
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