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lg2880铁杆木虫 (正式写手)
【鬼迷日眼】
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[交流]
磁控溅射关于靶基距与功率密度的关系!!
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| 请教各位大侠,磁控溅射靶基距与功率密度有关系吗?相同尺寸的溅射室,相同的功率下,靶基距不同,功率密度是否相同呢?功率密度的计算是不是以面积或体积来计算都可以? |
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lg2880
铁杆木虫 (正式写手)
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7楼2015-12-24 11:40:58
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2楼2015-12-23 16:04:58
leongoall
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3楼2015-12-23 21:17:12
4楼2015-12-23 21:44:37













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