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xinsw

银虫 (小有名气)

[求助] 硅烷气体如何安全使用已有1人参与

我们课题组准备用硅烷,CVD法做硅源,温度大概在400-1300度,但是这种气体有毒,而且易燃易爆,请使用过的朋友介绍一下使用经验,非常感谢!!!
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xinsw

银虫 (小有名气)

请大家帮帮忙
2楼2015-12-24 10:49:48
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xinsw

银虫 (小有名气)

自己顶一下
3楼2015-12-25 09:48:00
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watchsky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一定要用质量好的接头和阀门,需对管路进行彻底检漏,并在使用之前用氮气进行充分吹扫。
4楼2016-01-18 13:11:39
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zemxldz

新虫 (初入文坛)

使用过程注意什么,梳理过吗,分享下
5楼2021-07-05 10:45:53
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